Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu

CORDUNEANU, Alexandru

Home
→
Facultatea Calculatoare, Informatică şi Microelectronică
→
Conferinţe
→
Conferinţa "Microelectronics and Computer Science"
→
2009
→
View Item

dc.contributor.author	CORDUNEANU, Alexandru
dc.date.accessioned	2024-01-04T13:04:55Z
dc.date.available	2024-01-04T13:04:55Z
dc.date.issued	2009
dc.identifier.citation	CORDUNEANU, Alexandru. Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu. In: Microelectronics and Computer Science: proc. 6th International Conference, 1-3 Oct. 2009, Chişinău, Republica Moldova, vol. 1, 2009, pp. 203-205. ISBN 978-9975-45-045-4. ISBN 978-9975-45-122-2 (vol. 1).	en_US
dc.identifier.isbn	978-9975-45-045-4
dc.identifier.isbn	978-9975-45-122-2
dc.identifier.uri	http://repository.utm.md/handle/5014/25712
dc.description.abstract	În prezenta lucrare se demonstrează aplicabilitatea litografiei cu sarcina de suprafaţă la arseniura de galiu. Folosind metodologia acestei tehnologii pentru nitrura de galiu s-au obţinut mezastructuri de GaAs cu pereţi bine conturaţi cu înalţime de pînă la 10 micrometri .	en_US
dc.language.iso	ro	en_US
dc.publisher	Technical University of Moldova	en_US
dc.relation.ispartof	Proceeding of the 6th International Conference on "Microelectronics and Computer Science", oct.1-3, 2009, Chişinău, Moldova
dc.rights	Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States	*
dc.rights.uri	http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/	*
dc.subject	nanostructurare	en_US
dc.subject	arseniura de galiu (GaAs)	en_US
dc.subject	corodare fotoelectrochimică	en_US
dc.title	Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu	en_US
dc.type	Article	en_US