Micro- și nano-ingineria compușilor semiconductori și a structurilor metalice în baza tehnologiilor electrochimice : Lucrare de sinteză pentru titlul de doctor habilitat în științe fizice (elaborată în baza lucrărilor științifice publicate)

Abstract

The aim of the synthesis work is to develop theoretical concepts and to develop technological approaches for micro- and nano-engineering of porous semiconductor compounds and metallic nanostructures by electrochemical methods for multifunctional applications. The research hypothesis consists in exploring the mechanisms of electrochemical etching of semiconductor materials and electrochemical deposition of metals in porous semiconductor structures in order to obtain porous semiconductors with controlled morphology and design and metalsemiconductor nanocomposite materials for various applications. Synthesis of research methodology and justification of the chosen research methods. Electrochemical methods were used as basic techniques for the fabrication of semiconductor nanostructures, including those functionalized with metals. It should be noted that electrochemical etching in semiconductor materials is performed without lithographic means, the latter being used for the manufacture of porous layers with pores parallel to the substrate surface.

Scopul lucrării de sinteză constă în elaborarea conceptelor teoretice și elaborarea abordărilor tehnologice pentru micro- și nano-ingineria compușilor semiconductori poroși și a nanostructurilor metalice prin metode electrochimice pentru aplicații multifuncționale. Ipoteza cercetării constă în explorarea mecanismelor de decapare electrochimică a materialelor semiconductoare și de depunere electrochimică în regim de impuls a metalelor în structuri semiconductoare poroase, pentru obținerea semiconductorilor poroși cu morfologie și design dirijat și a materialelor nanocompozite metal-semiconductor pentru diverse aplicații. Sinteza metodologiei de cercetare și justificarea metodelor de cercetare alese. Ca tehnici de bază pentru fabricarea nanostructurilor semiconductoare, inclusiv a celor funcționalizate cu metale, au fost folosite metode electrochimice. De menționat că corodarea electrochimică în materiale semiconductoare este efectuată fără mijloace litografice, ultima fiind utilizată pentru fabricarea straturilor poroase cu pori paraleli suprafeței substratului.