dc.contributor.author | ABABII, Nicolai | |
dc.contributor.author | TROFIM, Viorel | |
dc.contributor.author | LUPAN, Oleg | |
dc.date.accessioned | 2020-06-11T10:03:05Z | |
dc.date.available | 2020-06-11T10:03:05Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.identifier.citation | ABABII, Nicolai, TROFIM, Viorel, LUPAN, Oleg. Microheaters for copper oxide-based gas sensors. In: Journal of Engineering Science. 2020, Vol. 27(2), pp. 52-61. ISSN 2587-3474. eISSN 2587-3482. | en_US |
dc.identifier.issn | 2587-3474 | |
dc.identifier.issn | 2587-3482 | |
dc.identifier.uri | https://doi.org/10.5281/zenodo.3784343 | |
dc.identifier.uri | http://repository.utm.md/handle/5014/8882 | |
dc.description.abstract | This paper describes two procedures developed for obtaining microheaters for copper oxide-based gas sensors. Different types of substrates (glass, SiO2/Si and ceramic) are investigated, as well as different configurations of geometric parameters for meandering heating elements. It is shown that microheaters made on glass, ceramic and SiO2/Si substrates can survive up to a temperature of ~400°C, which allows their integration for applications in gas sensing devices to maintain necessary operating temperature. | en_US |
dc.description.abstract | În lucrare sunt descrise doua proceduri de obţinere a microîncălzitoarelor pentru senzorii de gaz pe baza oxidului de cupru. Se cercetează diferite tipuri de substraturi (sticlă, SiO2/Si și ceramică), precum și diferite configuraţii ale parametrilor geometrici pentru elementele de încălzire de tip meandru. Se demonstrează că microîncălzitoarele fabricate pe substraturile din sticlă, ceramică și SiO2/Si pot rezista până la o temperatură de ~400°C, ceea ce permite integrarea acestora pentru aplicaţii în dispozitivele de detectare a gazelor cu scopul de a menţine temperatura de funcţionare necesară. | ro |
dc.language.iso | en | en_US |
dc.publisher | Tehnica UTM | en_US |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States | * |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ | * |
dc.subject | microheaters | en_US |
dc.subject | copper oxide | en_US |
dc.subject | gas sensors | en_US |
dc.subject | glass substrates | en_US |
dc.subject | semiconductors | en_US |
dc.subject | microîncălzitoare | en_US |
dc.subject | oxid de cupru | en_US |
dc.subject | senzori de gaze | en_US |
dc.subject | substraturi de sticlă | en_US |
dc.subject | semiconductori | en_US |
dc.title | Microheaters for copper oxide-based gas sensors | en_US |
dc.type | Article | en_US |
The following license files are associated with this item: