DSpace Repository

Straturi de AlN crescute pe siliciu prin metoda reacțiilor chimice de transport cu urme de azot polimerizat

Show simple item record

dc.contributor.author RAEVSCHI, S.
dc.contributor.author SPALATU, N.
dc.contributor.author GORCEAC, L.
dc.contributor.author BOTNARIUC, V.
dc.date.accessioned 2020-12-08T15:16:44Z
dc.date.available 2020-12-08T15:16:44Z
dc.date.issued 2017
dc.identifier.citation RAEVSCHI, S., SPALATU, N., GORCEAC, L., BOTNARIUC, V. Straturi de AlN crescute pe siliciu prin metoda reacțiilor chimice de transport cu urme de azot polimerizat. In: Microelectronics and Computer Science: proc. of the 9th intern. conf., October 19-21, 2017. Chişinău, 2017, p. 456. ISBN 978-9975-4264-8-0. en_US
dc.identifier.isbn 978-9975-4264-8-0
dc.identifier.uri http://repository.utm.md/handle/5014/11976
dc.description.abstract Lucrarea este consacrată dezvoltării tehnologiei de obținere a straturilor epitaxiale de nitrură de galiu pe siliciu prin metoda HVPE (Hydride Vapor Phase Epitaxy). Sintetizarea GaN nemijlocit pe siliciu este complicat de realizat din cauza interacțiunii la temperaturi înalte dintre siliciu și azot, degajarea galiului sub formă de picături, deteriorarea suprafeței substratului. Interacțiunea poate fi atenuată cu ajutorul unui strat buferal de AlN crescut pe suprafața siliciului în condiții optimale la etapa inițială de creștere a straturilor de GaN. În procesul de determinare ale acestor condiții in straturile de AlN au fost depistate mai multe faze cristaline, inclusiv și de azot polimerizat - compus cu proprietăți energetice excepționale. en_US
dc.language.iso ro en_US
dc.publisher Technical University of Moldova en_US
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.subject HVPE en_US
dc.subject straturi epitaxiale en_US
dc.subject nitrură de galiu en_US
dc.subject siliciu en_US
dc.title Straturi de AlN crescute pe siliciu prin metoda reacțiilor chimice de transport cu urme de azot polimerizat en_US
dc.type Article en_US


Files in this item

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account