Исследование влияния количества азота при магнетронном напылении титана на механические свойства алюминиевого сплава

Abstract

Приведены результаты исследования влияния объемного соотношения рабочих газов при реактивном магнетронном напылении на постоянном токе на механических свойства композиционного материала на основе алюминиевого сплава системы Al-Cu-Mg с поверхностными слоями из титана и нитрида титана. Также исследовано влияние азота и его количества на изменения параметров магнетронного напыления.