DSpace Repository

Some reliability aspects of MEMS and NEMS manufacturing

Show simple item record

dc.contributor.author BĂJENESCU, Titu-Marius I.
dc.date.accessioned 2021-08-19T09:35:02Z
dc.date.available 2021-08-19T09:35:02Z
dc.date.issued 2021
dc.identifier.citation BĂJENESCU, Titu-Marius I. Some reliability aspects of MEMS and NEMS manufacturing. In: Journal of Engineering Science. 2021, V. 28, N. 2, pp. 91-102. ISSN 2587-3474, eISSN 2587-3482. en_US
dc.identifier.uri https://doi.org/10.52326/jes.utm.2021.28(2).07
dc.identifier.uri http://repository.utm.md/handle/5014/16766
dc.description.abstract A full understanding of the physics and statistics of the defect generation is required to investigate the ultimate reliability limitations of manufacturability of MEMS and NEMS. In order that the user can include electronic components in circuits to achieve error-free and reliable functional units, assemblies or devices, must he has understood the mode of operation of these components. Only knowledge of their parameters and special properties allows, according to data sheet specifications and manufacturer's documents the optimal components for a specific application, to select. Both for the analysis of electronic circuits and for circuit dimensioning are knowledge of the structure and function of the used components of semiconductor electronics absolutely necessary. en_US
dc.description.abstract In articol sun examinate limitele de fiabilitate ale fabricării MEMS și NEMS din punct de vedere al fizicii și statisticilor de generare a defectelor. Pentru ca utilizatorul să poată implica componente electronice în circuite pentru a realiza unități funcționale, ansambluri sau dispozitive fără erori și fiabile, trebuie să fi înțeles modul de funcționare al acestor componente. Numai cunoașterea parametrilor și a proprietăților speciale permite, în conformitate cu specificațiile fișei tehnice și documentele producătorului, să selecteze componentele optime pentru o anumită aplicație. Atât pentru analiza circuitelor electronice, cât și pentru dimensionarea circuitelor, este absolut necesară cunoașterea structurii și funcției componentelor utilizate ale electronicii cu semiconductori. en_US
dc.language.iso en en_US
dc.publisher Technical University of Moldova en_US
dc.relation.ispartofseries Journal of Engineering Science;2021, V. 28, N. 2
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.subject MEMS en_US
dc.subject microelectromechanical systems en_US
dc.subject nanoelectromechanical systems en_US
dc.subject NEMS en_US
dc.subject semiconductors en_US
dc.subject semiconductoare en_US
dc.title Some reliability aspects of MEMS and NEMS manufacturing en_US
dc.type Article en_US


Files in this item

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account