Методика повышения качества изделий электронной техники на различных стадиях производства

Abstract

В работе рассматривается методика исследований технологического процесса производства интегральных микросхем, в основе которой лежат классические методы корреляционного анализа и оригинальный метод математического моделирования по результатам пассивного эксперимента в условиях реального производства.

The research technique of technological process of integrated circuits manufacture, in which basis lay classical methods of correlation analysis and original method of mathematical modeling by results of passive experiment in conditions of real manufacture is observed.