Procedeu de obţinere a senzorului de hidrogen stabil la umiditate

Abstract

Invenţia se referă la tehnica electrică de măsurat, în particular la procedee de obţinere a senzorilor de hidrogen stabili la schimbarea umidităţii mediului ambiant. Procedeul de obţinere a senzorului de hidrogen stabil la umiditate, include depunerea peliculei nanostructurate de oxid de cupru pe un suport din sticlă prin metoda sintezei chimice din soluţie, tratarea termică rapidă la temperatura de 750°C timp de 60 s, depunerea peliculei de Al2O3 prin evaporarea termică în vid a tri-izopropilatului de aluminiu Al(C3H7O)3, tratarea termică în aer a structurii obţinute la temperatura de 620°C timp de 40 min, şi depunerea contactelor de Cr-Au în formă de meandru.