DSpace Repository

Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца

Show simple item record

dc.contributor.author ЧЕРНЯВСКИЙ, Антон
dc.contributor.author ГРАМОВИЧ, Людмила
dc.date.accessioned 2022-08-08T09:46:16Z
dc.date.available 2022-08-08T09:46:16Z
dc.date.issued 2022
dc.identifier.citation ЧЕРНЯВСКИЙ, Антон, ГРАМОВИЧ, Людмила. Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца. In: Conferinţa tehnico-ştiinţifică a studenţilor, masteranzilor şi doctoranzilor = Technical Scientific Conference of Undergraduate, Master and PhD Students, Universitatea Tehnică a Moldovei, 29-31 martie 2022. Chișinău, 2022, vol. 1, pp. 261-264. ISBN 978-9975-45-828-3. ISBN 978-9975-45-829-0 (Vol.1). en_US
dc.identifier.isbn 978-9975-45-828-3
dc.identifier.isbn 978-9975-45-829-0
dc.identifier.uri http://repository.utm.md/handle/5014/20640
dc.description.abstract В данной статье рассматривается способ создания имитационной модели электрического травления путем конструирования специально разработанных масок с помощью движка Unity. В зависимости от нанесенной маски можно предугадать рост пор, согласно данным, полученным в результате исследований и проведения практических экспериментов. В конечном итоге разработка моделирования роста пор при использовании фотолитографических масок разных форм позволит сократить число экспериментальных экспериментов. en_US
dc.language.iso ru en_US
dc.publisher Universitatea Tehnică a Moldovei en_US
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.subject электрическое травление en_US
dc.subject поры en_US
dc.subject имитационные модели en_US
dc.title Имитационное моделирование электрического травления путем конструирования масок на поверхности образца en_US
dc.type Article en_US


Files in this item

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Advanced Search

Browse

My Account