Invenţia se referă la nanotehnologia semiconductorilor oxizi, în particular la electrodepunerea nanofirelor de ZnO funcționalizate cu nanoparticule din Au, Pd sau PdO/PdO2, într-un singură etapă. Soluția cu electroit conține 0.2 mM ZnCl2 + 0.1 M KCl cu adăugarea a 0.9 μM de HAuCl4 sau 1.5 μM de PdCl2 pentru depunerea nanoparticulelor pe bază de Au sau Pd. Oxidarea particulelor de Pd în oxizi micști de PdO/PdO2 a fost obținută printr-un tratament termic în două etape (de la 150 la 250 °C cu o rată de creștere de 1 °C/min, și menținerea la 250 °C timp de 12 ore). Nanotehnologiile elaborate permite reducerea esențială a etapelor tehnologice pentru fabricarea senzorilor de gaze cu performanțe înalte.
The invention relates to the nanotechnology of the metal oxides, in particular to the electrochemical one-step synthesis of Au, Pd or PdO/PdO2 mixed oxides nanoparticles functionalized ZnO nanowires at temperature of 90 ºC. The electrolyte solution consist of 0.2 mM ZnCl2 + 0.1 M KCl with addition of 0.9 μM HAuCl4 or 1.5 μM PdCl2. The oxidation of Pd nanoparticles to PdO/PdO2 mixed oxides was achieved by two-step thermal annealing (at 150 to 250 ºC with growth rate of 1 ºC/min, and then maintaining at 250 ºC during 12 h). The developed nanotechnology allows to essential reducing in technological steps of fabricating the high performance gas sensors.