Detectoare de ultraviolete pe baza unei structuri de Al2O3/ZnO

Abstract

Detectoarele de ultraviolete sunt vitale în tehnologiile cheie , inclusiv aplicații biomedicale. . Heterostructura Al2O3/ZnO este sintetizată prin obținerea ZnO prin

metoda sintezei chimice din soluții, apoi prin depunerea de straturi de Al2O3 prin metoda de depunere în strat atomic (ALD). Acest studiu prezintă performanța de detectare UV a heterostructurii Al2O3/ZnO la trei lungimi de undă diferite, de 405 nm, 385 nm și 365 nm în regiunea UV-B a spectrului UV. Din rezultatele obținute, s-a observat că dispozitivul funcționează optim la lungimea de undă UV de 365 nm, cu valoarea răspunsului de ~10-15 la temperatura de operare 25-100 ℃ , cu un timp de răspuns rapid sub 20 de secunde.

Ultraviolet detectors are vital in key technologies, including biomedical applications. Al2O3/ZnO heterostructure is synthesized by firstly obtaining ZnO using chemical

solution method then adding layers of Al2O3 using Atomic Layer Deposition (ALD) method. This study exhibits Al2O3/ZnO heterostructure’s UV detection performance at three different wavelengths ranged as 405nm, 385nm, 365nm in UV-B region of UV spectrum. It was detected that the optimal wavelength is 365 nm, with a response value of ~10-15 at operating temperatures 25-100 , with quick response time under 20 seconds.