Nanostructuri de GaN în calitate de senzori de gaze

Abstract

În lucrare este prezentat răspunsul la gaze a nanostructurilor de GaN fabricate prin metoda Litografiei cu Sarcina de Suprafaţă. Sensibilitatea bună faţă de CO şi H2 precum şi timpurile mici de răspuns şi restabilire demonstrează aplicabilitatea tehnologiei noi de nanostructurare a nitrurii de galiu pentru fabricarea senzorilor de gaze.