Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu

Abstract

În prezenta lucrare se demonstrează aplicabilitatea litografiei cu sarcina de suprafaţă la arseniura de galiu. Folosind metodologia acestei tehnologii pentru nitrura de galiu s-au obţinut mezastructuri de GaAs cu pereţi bine conturaţi cu înalţime de pînă la 10 micrometri .