Sistem de control automat a parametrilor stratului epitaxial din GaAs

Abstract

În lucrarea de faţă se prezintă un dispozitiv de comandă şi achiziţie de date pentru aparatul de măsură E7-12, ce permite racordarea acestuia la calculatorul personal. Scopul urmărit a fost automatizarea măsurărilor necesare pentru determinarea parametrilor stratului epitaxial din arseniură de galiu. Obţinerea parametrilor stratului epitaxial se face prin metoda volt-faradică. Dispozitivul setează tensiunea de polarizare cu pasul 0.1 V în intervalul 0-1 V şi cu pasul 1 V în intervalul 1-40 V. Pentru fiecare din aceste valori ale tensiunii, dispozitivul va cere de la aparatul de măsură valoarea capacităţii C şi a tangentei unghiului de pierderi D. Aceste valori vor fi trimise în calculator, va fi construită caracteristica volt-faradică şi vor fi determinaţi parametrii stratului epitaxial: concentraţia purtătorilor de sarcină, grosimea stratului, tensiunea de străpungere. Pentru a putea comunica cu aparatul de măsură a fost necesară implementarea protocolului GPIB (General Purpose Interface Bus). La baza dispozitivului proiectat se află un microcontrolor AVR – Atmega8.