Vacuummetrul tensorezistiv VD-10 a fost elaborat cu
destinația de a îmbunătăți precizia măsurătorilor la presiuni
joase; vacuummetrul include o unitate de măsurare și un
traductor, al cărui element sensibil este un cristal de siliciu
în partea de mijloc al căruia este fixată o membrană
subțire cu tensoresistooare amplasate pe suprafața
exterioară.
Pentru a reduce dependența de temperatura mediului
ambiant, pe cristal este plasat un circuit format din
rezistoare și un tranzistor; circuitul asigură alimentarea
circuitului-punte cu o tensiune dependentă de temperatură
pentru a compensa deriva. În plus, fluctuațiile de
temperatură sunt înregistrate de unitatea de măsurare
pentru corecția suplimentară în program.
To improve the accuracy of low
pressure measurements, a VD-10
tensoresistive vacuum gauge
sample has been developed and
constructed; the gauge includes a
measuring unit and a transducer,
the sensitive element of which is
a silicon crystal in the middle part
of which a thin membrane with
tensoresistors placed on the outer
surface is formed.
To decrease the dependence on the ambient temperature,
a circuit consisting of a transistor and resistors is formed
on the crystal; the circuit provides power to the bridge
circuit with a temperature-dependent voltage to
compensate for the drift. In addition, temperature
fluctuations are recorded by the measuring unit for
additional software correction.