Thermoelectric vacuum gauge

Abstract

Invenţia se referă la domeniul măsurătorilor de presiune şi poate fi utilizată pentru măsurarea presiunilor joase ale gazelor. A fost elaborată mostra experimentală a vacuumetrului termoelectric, care are în componenţa sa un bloc electronic şi un convertor, al cărui element sensibil este o peliculă subţire electroizolantă pe suprafaţa căreia sunt depuse circuitele de încălzire şi de măsurare, ultimul realizat sub forma unei baterii de termocupluri. Pentru a reduce dependenţa de temperatura mediului ambiant, pe carcasa convertorului este plasat un termistor, care înregistrează schimbările temperaturii carcasei convertorului, care ulterior sunt compensate de blocul electronic al vacuummetrului.

An experimental prototype of a thermal vacuum gauge has been constructed; the gauge includes an electronic unit and a transducer, the sensitive element of which is a thin insulating film with heating and measuring circuits deposited on the film surface; the latter circuit is implemented in the form of a thermocouple array. To decrease the dependence on ambient temperature, a thermistor is mounted on the transducer case; the thermistor records a change in the temperature, which is compensated for by the electronic unit of the vacuum gauge.