Abstract:
Cererile ridicate de aplicații pentru senzori de înaltă performanță indică importanța controlului precis al parametrilor oxizilor semiconductori. Pentru a îmbunătăți aceste performanțe prezentăm în lucrarea dată pelicule subțiri de TiO2 depuse prin metoda depunerii straturilor atomice și prin pulverizare, iar apoi și funcționalizate cu metale nobile, astfel demonstrând ridicarea selectivității față de H2 gaz și a rapidității cu timpi de răspuns de ordinul a 0,6 s