Interfaţa de comunicaţie cu procesul tehnologic de aliere a structurilor epitaxiale din GaAs

Abstract

În lucrare se realizează interfaţa de comunicaţie a procesului tehnologic de aliere a structurilor epitaxiale din arsenură de galiu GaAs cu calculatorul, în scopul monitorizării şi controlului procesului în timp real. Pentru a soluţiona problema formulată s-a efectuat o analiză a procesului tehnologic şi a instalaţiei IEC-3/4R de creştere a structurilor semiconductoare. În calitate de regulator automat a fost ales regulatorul industrial, universal programabil cu două canale TRM151-01-II cu realizarea algoritmului PID, dotat cu interfaţa RS-485 şi protocolul de comunicaţie OWEN. La acordarea regulatorului s-au utilizat algoritmii analitici de sinteză pentru sisteme de reglare automată cu performanţe impuse, elaboraţi după criteriul gradului maximal de stabilitate.