Microheaters for copper oxide-based gas sensors

Abstract

This paper describes two procedures developed for obtaining microheaters for copper oxide-based gas sensors. Different types of substrates (glass, SiO2/Si and ceramic) are investigated, as well as different configurations of geometric parameters for meandering heating elements. It is shown that microheaters made on glass, ceramic and SiO2/Si substrates can survive up to a temperature of ~400°C, which allows their integration for applications in gas sensing devices to maintain necessary operating temperature.

În lucrare sunt descrise doua proceduri de obţinere a microîncălzitoarelor pentru senzorii de gaz pe baza oxidului de cupru. Se cercetează diferite tipuri de substraturi (sticlă, SiO2/Si și ceramică), precum și diferite configuraţii ale parametrilor geometrici pentru elementele de încălzire de tip meandru. Se demonstrează că microîncălzitoarele fabricate pe substraturile din sticlă, ceramică și SiO2/Si pot rezista până la o temperatură de ~400°C, ceea ce permite integrarea acestora pentru aplicaţii în dispozitivele de detectare a gazelor cu scopul de a menţine temperatura de funcţionare necesară.